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  石墨含量在99.9%以上的石墨叫bob官方下载链接。bob官方下载链接具有电阻系数小、耐高温、抗热震性好、导电、导热膨胀系数小、自润滑,易于精密机加工的优点,鳞片洁净完整、片薄且韧性好,物理化学性能好,是理想的无机非金属材料。

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  1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

  2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

  3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

  4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的bob官方下载链接加热器、保温罩等。

  5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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